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GMP车间净化公司气流流形的检测程序

来源:http://www.henganjh.cn │ 发表时间:2019-09-05 

  GMP车间净化公司洁净室是在一定空间范围内粒子在空气中,细菌和其他有害空气污染物,和室内温度,清洁度、室内压力、气流速度和空气分布,噪声、振动和照明、静电控制在一定的范围内的需求,和特殊设计,主要作用是控制产品(如硅片)接触到的大气的洁净天数和温湿度,使产品能够在良好的环境空间中生产和制造,即无尘室。根据国际惯例,GMP车间净化工程的无尘净化水平主要根据每立方米空气中直径大于标准颗粒数来确定。也就是说,所谓的无尘并不是100%没有任何灰尘,而是控制在一个非常小的单位。当然,与普通粉尘相比,本标准中符合粉尘标准的颗粒非常小,非常微小,但是对于光学结构来说,即使是很小的粉尘也会产生非常大的噪声,所以在光学结构产品的生产中,无尘是必然的要求。
  GMP车间净化公司气流流形的检测程序应按以下步骤进行:
  1. 选择垂直单向流动洁净室1间,纵断面1间,横断面1间,水平面1间,距地面高度分别为0.8m和1.5m;纵向截面选择水平单向流动洁净室1间,工作区高度选择水平平面1间,送风回风墙和房间中心各选择水平截面3间,取0.5。各表面测点间距0.2m~1m。2)在代表性送风入口中心工作区高度,通过一个纵断面、一个横断面、一个水平面选择湍流洁净室。截面上测点间距0.2m~0.5m,水平面上测点间距0.5m~1m。测量两个风口之间的中心线。
  2测定方法:方法的感烟探测器或悬挂单丝线点观察和记录的气流,并可用于量角器测量角度,烟源可用超声波雾化(0.5嗯~ 50嗯水雾)离子(DI)水,生成乙醇或乙二醇注入方法,固体二氧化碳(干冰)等等,在高强度光示踪剂。四氯化钛(TiCl4)可作为示踪剂,以确保对人体或物体不造成伤害。
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